正排氣型(Positive Displacement)真空泵浦選用須知

正排氣型(Positive Displacement)真空泵浦選用須知

排氣速度之決定
真空泵浦的排氣速度( Pumping Speed)係指抽氣時在進氣口端的體積流率( Volume Rate)，常用單位為m3/hr或Liter/min 。真空泵浦排氣速度之大小會影響真空系統到達指定真空度所需要的時間。當系統抽真空時，真空泵浦的排氣速度會隨著真空度上升而呈曲線下降。當真空泵浦到達最高真空時，其排氣速度降為零。我們在選用真空泵浦時，應避免於排氣性能陡降區使用，以維持真空系統之穩定性。

如果真空抽氣之氣體含水分或粉塵，建議使用液封式真空泵較為適合。

（2）由容器內發生及漏入氣體來選擇

例1. 設一真空系統之總容積V=5,000公升，要求壓力在10分鐘內由760 Torr抽至10 Torr，試選定適當之真空泵浦。
真空系統入口壓力P1=760 Torr， 指定真空度壓力P2=10 Torr

Step 1：
P1/P2=760/10=76  查Fig-2 中 P1/P2 的座標軸76的位置點 "A"
系統要求抽氣時間為10分鐘，查Fig-2 中 t 座標軸10分鐘之位置點 "B"
兩點劃一直線相交於轉換線點 "C" 位置

Step 2：
真空系統之總容積 V=5,000公升，查 Fig-2 中 V 座標軸5000的位置點 "D"。
將 C 點及 D 點劃一直線交於Fig-2 中 座標軸的位置點 "E"

Step 3:
由Fig.2得 E 點 =2,100 Liter /min
查Fig-1 於10 Torr 壓力下之安全係數 K=1.3
於壓力 10 Torr 時系統要求之真空泵浦排氣速度為：
S: K=1.3×2100=2,730 Liter /min

Step 4：
查型錄真空泵浦性能表，SR-6型單段油迴轉真空泵符合系統要求。
(選用SR-6)。

例2. 設一真空系統操作為0.1 Torr而由大氣漏入系統之氣體量為0.25 Liter/min，試選定適當之真空泵浦。

Step 1：
漏入氣體量Q = 0.25 × 760 = 190 (Torr × Liter/min)

Step 2：
查Fig-1 於0.1 Torr 壓力下之安全係數K = 2.5
因此壓力0.1Torr時的排氣速度
S = K Q / P = 2.5 × 190 / 0.1 = 4,750 Liter /min

Step 3:
參考油迴轉真空泵浦之性能表SR型之容積效率約61%
得出系統要求之真空泵設計排氣速度＝4,750/0.61=7,787 Liter/min
查型錄真空泵浦性能表，SR-9型單段油迴轉真空泵符合系統要求。
（選用SR-9）