1. 单段式
排气速度:0.6 ~ 60 m3/min
最终压力:760 ~ 60 Torr
2. 两段式
排气速度:0.52 ~ 62 m3/min
最终压力:760 ~ 25 Torr
3. 两段式串联大气助力器
排气速度:0.52 ~ 62 m3/min
最终压力:760 ~ 3 Torr
液封式真空帮浦是一种无脉动式的真空帮浦,它是以水环当作活塞,将气体吸入再压缩排出。
帮浦叶轮的中心与汽缸的中心特别设计为偏心配置,当叶轮转动时,封液会在汽缸内形成一水环;由于偏心的缘故,叶轮的叶片插入水环的深度会改变,使得水环如同活塞般在两叶片间上下动作,因此从入口吸入的气体会逐渐被压缩至出口排出于大气,达到抽取真空的目的。整个的抽气、压缩、排气的动作均无阀门控制,同时也没有金属的相互摩擦,完全靠水环与叶轮的相对运动来完成。
1. 液封式真空帮浦容许被抽取的气体中含有大量的可凝结性气体及相当程度的液渣,而不致损坏帮浦。
2. 当抽取可凝结性气体时,封液本身相当于一个直接接触式的冷凝器,会加大对可凝结性气体的排气量。
3. 压缩过程中,压缩产生的热量绝大部份被封液吸收,趋近于等温压缩,故出口排气温度低。
4. 选用适当的材质及改用适当的液体来代替水为封液,不仅可回收被抽出的气体,也可解决帮浦腐蚀的问题。
5. 入口加装大气助力器,可延伸压力使用范围;如串联机械式真空助力帮浦,则可延伸压力使用范围并加大排气能力。
6. 在许多的真空制程中,液封式的购入成本及运转费用低于其它型式的真空帮浦。
7. 无脉动,振动小,噪音低,安装保养容易。
真空除气、真空铸造、真空干燥、真空浓缩、真空分馏、真空含浸、真空包装、真空输送、真空过滤、吸盘搬运、造纸脱水、溶剂回收、蒸汽杀菌、起动注给
大气助力器是空气喷射器的一种,其原理是利用大气中的空气作为驱动流体,藉经过喷嘴及扩散管而产生的超音速气流,将所需抽取的气体带入液封式真空帮浦后再排出大气中。两段式液封式真空帮浦串联大气助力器时,最终压力可达 3 Torr。